AnwendungsbeispieleFraunhofer-Institut für Silicatforschung ISC

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Direkt strukturierbare Smart Materials können die Funktion von mikroelektronischen Bauteilen erhöhen und sind Grundlage für Lösungen für System-on-Chip- und System-in-Package-Konzepten, die die Integration von unterschiedlichen elektronischen Funktionselementen auf kleinstem Raum zum Ziel haben. Das Fraunhofer ISC entwickelt sowohl piezoelektrische Materialien, die als Funktionsresist verarbeitet werden können, als auch Strukturierungstechniken, die für die Herstellung von MEMS und MOEMS geeignet sind.